KA[Su0 案例024(3.0)
../(gG9 8[XNFFUZs 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
Ho9*y3] #jR?C9&!( 1. 建模任务1:金属光栅 }Q*ec/^{f r8E!-r}rno `Q[$R&\ 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
eVJL|uI| 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
";%1sK XiUsaoQm3 2. 建模任务2:介质光栅 C_;6-Q%V ;!Mg,jlQ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
Z.:A26 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
9EQ,|zf' <]J5AdJ 3. 建模任务 {K}+$jzGVt WfI~l) q9Wtu7/
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
gNBI?xs`p 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
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场分布计算能够检测结构内部的热点
~Y$1OA8 (yVI<Os{a 4. TE和TM照明线性光栅 n+w>Qz' "^7Uk#!
7 5. 铬狭缝的分析 8;@eY`0( C8-q<t#SF pgarGaeq 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
^8*.r+7p 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
_;+&'=6.[ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
36z{TWF 红线说明了结构的形状(手动添加)
""=Vt] q9>w3
< 6. 三角光栅的分析 hHQt4 r'd 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
C .Yz<?;S w\a#Bfcv 0Oq1ay^ 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
^YV[1~O 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
_,QUH" 红线说明了结构的形状(手动添加)。
Ea1>]V 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
)eV]M~K: 4H)a7<, 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
0o`o'Z V=c i+6/ g 7. 总结 U/;Vge8{ mv_-|N~ VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
7(-<x@ e 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
"@_f>3z 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
]](hwj 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。
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