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激光扫描系统(LSC.0002 v1.0) H,KH}25 esSj
3E 应用案例概述 e Fs5l b$Hbo;_ 系统细节 uO1^Q;F ? /!Fv/ 光源 ! =21K0~t# – 绿光二极管 +iN!$zF5] 元件 )q'dX+4=eL – 双轴振镜扫描仪 {@KLN< – F-Theta物镜 eM$a~4!d 探测器 2f:h z – 场曲和畸变探测器 :c]y/lQmV – 光束强度剖面探测器 Eo$l-Hl5= – 焦点区域探测器 1R-0b{w[ – 光束参数探测器 ypM,i 模拟/设计 z&!o1uq – 光线追迹:分析扫描场尺寸,场曲以及畸变 53uptQ{ – 场追迹:考虑衍射效应,进行更精确的光束尺寸和剖面的研究 9*iVv)jd VT>-* 系统说明 n2*Ua/J-8 E7h@c>IK 51s\)d%l 激光扫描系统的性能评估 5%( KD#zsL)3 一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个F-Theta物镜,在一维扫描过程中(沿入射角Theta),通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。 * g+v*q X 此外,计算了不同扫描位置处的光束尺寸和轮廓。 ;woK96"{t ui8$ F
"I* 模拟和设计结果 gm]q<~eMW k7:ISjJ fPN/Mxu 其他的VirtualLab特征 Usht\<{ (Ajhf}zJ 在此案例中,你将从以下选择的特征中获益: <2j$P Y9 各种探测器 ,FYA*}[ - 测量与反射镜扫描角度相关的焦点位置 ?}^ y6 - 测量探测器平面上的光束位置 >*/
|tL - 使用焦点区域探测器计算焦点区域中的场 Sy.%>$ z 参数耦合 d+P<ce2G - 针对扫描光学部分的期望输入扫描角度Theta来调整反射镜方位 ajRht +{ 参数运行 "nJMS6HJ[ - 估计扫描场尺寸 n"iaE - 生成场曲和畸变图 ;N!n06S3 :zC=JvKT 总结 hQ%X0X, g0~m[[ VirtualLab可以 fm^tU0DY 模拟一个由双轴扫描反射镜和一个F-Theta物镜构成的激光扫描系统 *>iJ=H 分析目标平面上的光束偏转 GXx'"SK9 - 通过光线追迹来计算扫描场尺寸,场曲和畸变 F9w2+z. - 通过几何场追迹来计算光束剖面 !pa7]cZ - 场追迹可以更准确地分析光束位置和焦点 QncjSaEE 应用案例详述 mFpj@=^_G T8LvdzS 系统参数 ZWFOC,)b %LdBO1D0 应用案例内容 zxv y& LSC.0001和LSC.0002为激光扫描系统。 9[E/^
在这个案例中,通过模拟扫描过程来分析F-Theta物镜的场区和畸变。 2DZ&g\| 相对于LSC.0001,显示了性能提高。 :'H}b*VWx 强烈建议首先阅读LSC.0001。 7}=MVp] )S *JW.ca} file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_01_RayTracing.lpd oPAc6ObOV~ ,+Ya'4x 模拟任务 |%Y =]@f >hnhV6ss 连续激光模 ^y&2N +ZwTi!W 规格:输入激光光束 }sZy |dd BhyLcUBuB 激光组件中的单模二极管激光器 W70BRXe04D $H,9GIivD 规格:电流反射镜定位系统 aIfB^M*c5 48GaZ@v
cJ,`71xop, 典型双轴振镜扫描仪 2JHF*zvO- TTxSl p2=; kvN6K6 规格:F-Theta物镜概述 v<} $d.&* 7z&^i-l. )/v`k>E 规格:F-Theta对象透镜参数 d D^?%,a ,(yaWd6 uvD*]zX n*=Tm
KQ 'xOH~RlE \ ]h$8JwV |R Qa.^. 来自目录Schott_2014 zt
)WX9 _ZuI x=! 详述应用案例 i\L7z)u 0?g& |