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    [原创]泰伯(TALBOT)光刻机 [复制链接]

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    离线infocrops
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 11-16
    关键词: 光刻机
    作为最著名的衍射效应之一,泰伯(Talbot)效应可以用于光刻技术中以制造周期性纳米结构。继I.-H. Lee等人,我们在六边形网格上构造了一个圆锥形光栅掩膜版,并以深度方式模拟了Talbot图像的生成。特别是,由于光刻过程中使用的紫外光是非偏振的,因此我们在示例中演示了如何为VirtualLab Fusion中的光栅模拟建模非偏振光。
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 11-16
    光刻机?要看看。谢谢。
    离线学本初
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    只看该作者 2楼 发表于: 11-26
    谢谢分享  %;W8;  
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