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上海光机所在激光抛光熔石英元件方面取得新进展 熔石英元件的紫外激光损伤是制约高功率激光系统发展的关键问题。熔石英玻璃的传统加工方法历经成型、研磨和机械化学抛光等工艺手段，该方法实现超光滑表面耗时长，且易引起元件的表面和亚表面缺陷，导致元件的表面损伤阈值大幅降低。 该研究中，研究团队通过结合兆声化学刻蚀和激光熔融抛光对精磨熔石英玻璃进行后续加工，化学深刻蚀首先打开精磨后的亚表面缺陷，再经过激光高精度抛光获得超光滑表面。采用该复合工艺加工的熔石英元件与传统工艺加工的元件相比，具有更高的紫外损伤阈值且耗时更短。该研究为高激光损伤阈值熔石英元件的加工提供了新思路。  图1 (a) 激光抛光光路示意图 (b) 复合工艺过程中样品表面形貌变化  ]图2 不同工艺处理下的熔石英元件 (a)表面损伤概率 (b)污染元素深度分布 该项工作得到国家自然基金、中国科学院青年创新促进会、上海扬帆计划的支持。 原文链接：https://www.osapublishing.org/ol/abstract.cfm?uri=ol-45-21-6014 分享到：
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最新评论
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wangjin001x 2020-11-07 23:09上海光机所在激光抛光熔石英元件方面取得新进展
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tassy 2020-11-08 01:08激光抛光熔石英元件
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gchen0331 2020-11-08 06:24不错的新加工抛光技术，恭喜光机所！
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songshaoman 2020-11-08 07:26啧啧称奇
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tomryo 2020-11-08 08:02上海光机所在激光抛光熔石英元件方面取得新进展
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redplum 2020-11-08 08:22真牛逼啊
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likaihit 2020-11-08 08:26真实厉害
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不懂想问 2020-11-08 08:51在激光抛光熔石英元件方面取得新进展
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copland 2020-11-08 10:59激光抛光熔石英元件
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james951 2020-11-08 12:12上海光机所在激光抛光熔石英元件方面取得新进展
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