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教程565(1.0) 8#Q=CTjF ya9V+/i7T_ 1.模拟任务
iG[an*#X YdI|xu>0A^ 本教程将介绍设计和分析生成Top Hat图案的折射率调制扩散器图层。 =9oN#4mWK 设计包括两个步骤: sQT0y(FW - 设计相位函数来生成一个角谱Top Hat分布。 &k5 Z|d| - 基于相位调制来计算对应的折射率调制。 j}=$2|}8{ 设计相位函数是基于案例DO.002。在开始设计一个梯度折射率扩散器之前,我们迫切地推荐您先阅读这个案例。 T/^ /U6JB Ou
_bM n FS%Xq-c
照明光束参数 nKFua l3 & >AXB6 zl:
5_u=T 波长:632.8nm a9ab>2G?FR 激光光束直径(1/e2):700um (~r"N?` p5!=Ur&Ac 理想输出场参数 r )cGee 5]WpH0kzO ,qgph^C 直径:1° tZtyx;EP 分辨率:≤0.03° Z[baQO 效率:>70% ;[-dth 杂散光:<20% mCFScT nQc]f* Xi'y-cV
^ 2.设计相位函数 +jFcq:`#UG zR'lQ<u
R1YRqk RZ!-,|"cwL 相位的设计请参考会话编辑器 21$YZlhJ Sc563_GRIN_Diffuser_1.seditor和优化文档Sc563_GRIN_Diffuser_2.dp。 AepAlnI@ 设计没有离散相位级的phase-only传输。 /-wAy-W a;Q6S 3.计算GRIN扩散器 7_WD)Y2yS GRIN扩散器应该包含一个1mm厚度石英玻璃作为基板,和一个折射率调制的丙烯酸薄层。 .`84Y 最大折射率调制为△n=+0.05。 .0:twj 最大层厚度如下: ^D(N_va< CT@JNG$<" 4.计算折射率调制 y!SElKj ?Sj3-*/? 从IFTA优化文档中显示优化的传输 d v@B-l; <im
BFw 将传输相位转变为实部,通过函数Manipulation→Field Quantity Operations→Move→Phase to Real。 |?CR|xqT *KO4H >!|Hns 生成正向函数,通过Manipulation→Amplitude/Real Part Manipulation→Lift Positive函数。 m}] bP K@P5]}'# <wge_3W# 乘以最大调制折射率(0.05),通过Manipulation→Operation with Constant→Multiply Constant函数。 u/e-m/ vu[+UF\G 'W5r(M4U 将数据转换成数据阵列:Manipulation→Create Numerical Data Array(参见下一张)。 PsTPGK#S 9FT;?~, s+>VqyHgf iN0gvjZ 数据阵列可用于存储折射率调制。 k=2]@K$% 选择在下一个对话框中将实部转化为一个数据阵列图。 bv`gjR 插值应该设置为Nearest Neighbor来得到一个像素化折射率调制。 CUgXpU* XUmL 8 5.X/Y采样介质 =(ts~^ xQX,1NbH5 ~9JU_R^%m GRIN扩散器层将由双界面元件模拟。 GwHMXtj4 这个元件可以在平面层和任意折射率调制之间进行模拟。 XJ~_FiB 元件厚度对应于层厚度12.656μm。 3A%/H` 折射率调制由采样x/y调制介质模拟。 HDUtLUd E.]sX_X? "ZDc$v:Qa LuQ4TT 基材丙烯酸的离散数据应该从miscellaneous材料目录中加载。 TIbqUR 折射率调制的数据阵列必须设置到介质中。 sw{,l"]< 应该选择像素化折射率调制。 \TSt Be+CV">2 %"~\Pu*> 优化的GRIN介质是周期性结构。 U7d%*g 只优化和指定一个单周期。 N"MuAUB:K 介质必须切换到周期模式。周期是 TQDb\d8,f 1.20764μm×1.20764μm。 :1"{0gm ZcgSVMqEX 6.通过GRIN介质传播 R9Wh/@J] hc}dS$=C 'awL!P-- /gZrnd? 通过折射率调制层传播的传播模型: (SV(L~T_ - 薄元近似 |[n-H;0 - 分步光束传播方法。 l\7N R 对于这个案例,薄元近似足够准确。 ^~Nz8PCY 在传播面板上选择传播方法,并且编辑传播设置。 {7&(2Z]z 场采样必须设置为手动模式并且采样距离为4.5μm(半像素尺寸)。 K*Y.mM) n.]K"$230 7.模拟结果 _y&m4V |