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案例563(1.0) H0Xda.Y( WED7]2> 1.建模任务 E*]L]vR -BH'.9uqGQ 这个案例将演示设计与分析一个折射率调制的扩散器图层以生成Top Hat图案。 NY
w(hAPv 设计包括两个步骤: A)0m~+?{J - 设计相位函数来生成一个角谱Top Hat分布。 +K4v"7C
V - 基于相位调制来计算对应的折射率调制。 \}(-9dr 如果想要更详细的解释设计和分析步骤,请参见教程Tut565。 obkv ]~ 6EGEwx _E-GHj>k
z 照明光束参数 < |