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案例563(1.0) p{oz}} jW&*?6< 1.建模任务 |gV~U~A] 6`2i'flv 这个案例将演示设计与分析一个折射率调制的扩散器图层以生成Top Hat图案。 JX'}+.\ 设计包括两个步骤: uyEk1)HC - 设计相位函数来生成一个角谱Top Hat分布。 \:h7,[e - 基于相位调制来计算对应的折射率调制。 dkg`T#} 如果想要更详细的解释设计和分析步骤,请参见教程Tut565。 h HHR]e5: qdQ4%,E[ DvhFCA}z 照明光束参数 [DpOI &DGqY5= <]?71{7X 波长:632.8nm SkV pZh 激光光束直径(1/e2):700um i$pUUK
r7VBz_Q 理想输出场参数 nGGw(6c%> !l dE9 . H.?`90IQ Hd4 ~v0eS 直径:1°
c2V_|oL 分辨率:≤0.03° 53/$8= 效率:>70% jA8Bmwt;w 杂散光:<20% =_&,^h@'3e )[Rwc#PA; 2. 设计相位函数 I!F&8B+| oG22; 7/&t |