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光整形>衍射光学 {mI95g& \|wVIi 任务说明 kgYa0 e5 S .1~# b-~Gt]%>m C}W/9_I6Uo 灵活地导出制造数据: }Z%*gfp - 平滑的界面 LN_6>u - 量化界面 D'A)H - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 GyT{p#l "iOT14J!7 亮点 f}#pKsX. 导出各种表面形状的制造数据 h-#Glse< 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 3hb1^HNT 2uU~$7~N 8l)^#"ySA 一般界面的制造数据 8[xb+_ +tl THK t;ggc{ '{Iv?gh" 支持文件格式: aS62S9nwX - 纯文本 &]uhPx/ - ASCII码 [@.%6aD - 点云 whxE[Xnv - CAD格式(例如,STL,IGES) &OWiA;e?f \e ( h6,@ STL导出平滑界面(例如Asphere) |W{z,e01x y{5ZC~Z<! 采样高度剖面的STL导出 .4.zy]I #;2Ju'e#z v#=- &!m;s_gi 量化界面的GDSII导出 u["Pg
量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 zFwp$K>{QY 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 ;^t<LhN: a?&oOQd-iP K)F;^)KDHf 文档和技术信息 4l>/6LNMF mu|#(u (<2PhJ| PC用于模拟的规格 xZbm,.v ZZ?=^g %6dFACv
QQ:2987619807
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