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1. 摘要 HWVtop/ }YHX-e<Yx] 亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级,因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题,可以使用非傍轴照明。在本例中,高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明,衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程,包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 YLVPAODY
J;prC 2. ·建模任务 ?PyG/W Tr#V*.x Q8_ d)t| 3. 结果 oy;K_9\ QzAK##9bfa ]]"jw{W}A 4. 文件和技术信息 %.z,+Zz? f u9Cx MW+b;0U`#
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