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    [推荐]不同轮廓亚波长光栅的成像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-09
    1. 摘要 *Ic^9njt  
    @!! u>1  
    亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级，因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题，可以使用非傍轴照明。在本例中，高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明，衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程，包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 a@W9\b@I  
     ~B"HI+:\L  
    2. ·建模任务 wyB]!4yy,  
    .Hqq!&  
    8&"Jlz |  
    3. 结果 T:{r*zLSN  
    Il&7n_ H  
    PN]hG,q*4O  
    4. 文件和技术信息 nTr]NBR  
    X5J)1rL  
    ?i#x13  
    QQ：2987619807
     
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