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1. 摘要
'X,V gAY2|/, 亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级,因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题,可以使用非傍轴照明。在本例中,高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明,衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程,包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 6<Wr
8u, /6c10}f 2. ·建模任务 5Z,lWp2A OJ 5 !+#> ;#i$0~lRl 3. 结果 wcf_5T EvmmQ }aM`Jp-O 4. 文件和技术信息 AZy2Pu56 !S-U8KI| rtx]dc1m
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