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摘要 8R?I`M_b V|: qow:F 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 YPEnNt+ ;s_"{f`Y6 =
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l|aB 建模任务 |,sMST% y-a|Lu* s)w9% X"<|Z]w 结果 ,g|2NjUAc :<utq|#s "DpKrVuG xS+rHC 文件信息 @i1q]0 28UVDG1? ]sL45k2W -J?~U2 GOVAb' QQ:2987619807 P
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