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摘要 !Ur.b
@ke {dh,sbl 生成一个自定义
探测器来计算一维周期
结构的
衍射效率,这是一个用户定义范围内入射方向的
函数。根据效率,可以在定义的
视场内评估衍射效率的平均值和对比度,并且可以用于定义
优化函数以便进行可能的
参数优化。
"C&>$h_% CTKw2`5u r_T"b _9H]:]1QH 建模任务 o|vL:| 8Q rXT? w]4 %&VI-7+K 任务:
m@+QC$6S 6-tIe_5 生成探测器来评估给定视场(FOV)的波导耦合
光栅的性能(平均效率,均匀性)。
Z2`M8xEiH 7l/lY-zO 探测器可用于分析透射或反射模式下的指定衍射级。
M!mw6';k r&B0-7r 视场(FOV)的定义 4c{j9mh t 4zUj%F 调用傅里叶模态法(FMM) +boL?Ix+
f+!J1 使用探测器帮助浏览输入参数 hmOGteAf- 'J-a2oiM( !OQ5AF$
探测器结果的评估 !G\gqkSL : _:)S 作为结果,探测器会根据对特定衍射级次m作为一组平面波入射方向的函数的效率,来计算平均效率和均匀对比度。
>5Lp; zv0sz]) 均匀对比度(或误差)由下式计算
zh0T3U0D .w@B )f*
(ER9.k2 =)c-Xz 计算值在
VirtualLab Fusion的探测器结果中显示。
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$=p4bf L@=$0p41; 矩形光栅的波导耦合分析 q+oc^FD?@ V!Sm,S( WFV'^-4 文件信息 ILl~f\xG)