_^b@>C>O 摘要 ~xE=mg4le ($:y\,5(9I 生成一个自定义
探测器来计算一维周期
结构的
衍射效率,这是一个用户定义范围内入射方向的
函数。根据效率,可以在定义的
视场内评估衍射效率的平均值和对比度,并且可以用于定义
优化函数以便进行可能的
参数优化。
jPpRsw> T aEt v}f&q! [5!'ykZ 建模任务 v#-E~;CcC $mD>rx 4XD)E& 任务:
Ny B&uf 1N>6rN 生成探测器来评估给定视场(FOV)的波导耦合
光栅的性能(平均效率,均匀性)。
}ymc5- )X~#n 探测器可用于分析透射或反射模式下的指定衍射级。
-$OD }5ku# >"O1`xdG 视场(FOV)的定义 @7 )Z BL0|\&*1 调用傅里叶模态法(FMM)
*[VEF 6 1L7
-~ 使用探测器帮助浏览输入参数 ^J0zXe -d 3y/1!A3 V8\$`NEP 探测器结果的评估 Esb?U|F4 'qdg:_L" 作为结果,探测器会根据对特定衍射级次m作为一组平面波入射方向的函数的效率,来计算平均效率和均匀对比度。
mZ~mf->% )&XnM69~b 均匀对比度(或误差)由下式计算
r7RU"H:j8 db<q-u
jzMhJ WBy[m ?d 计算值在
VirtualLab Fusion的探测器结果中显示。
v;Swo(" Lr wINVa 矩形光栅的波导耦合分析 C?{D"f`[] cJSVT8 Gee~>:_Q{J 文件信息 Fgskb"k/