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摘要 !R`)S7! ?11\@d 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ?9?eA^X% R24ZjbKL _BA2^C':c{ Ep@NT+VnI 1. 建模任务 jW?siQO^ 4ZRE3^y\" :Hn*|+' 5z$>M3 2. 结果 mp\`9j+{ d- wbZ)BR ZgXn8O[a il)LkZ@ @ZD/y%e nCj_4,O 3. 文件和技术信息 #]BpTpRAe< AIx,c1G]K 5T,In+~Kd HifU65"8 +&T;jad2 VX:15705182053 N~w4|q!]
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