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[求助]如何调节脉冲偏压降低或者消除产品冶具起弧 [复制链接]

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离线光迹

助理工程师

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2020-07-28

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在镀绝缘膜层时，产品冶具起弧，烧伤膜层。设备配置了脉冲偏压（工艺条件：-40V，频率50KHZ，脉宽5微秒，反向偏压10V），希望有了解的同行指点一下，谢谢。

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离线光迹

助理工程师

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只看该作者 1楼发表于: 2020-07-28

工艺条件里面是反向偏压10V，打错字了

离线a013109425

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只看该作者 2楼发表于: 2020-09-04

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66666666666666

离线duancm9

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学到了

离线wflney

助理工程师

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学习学习

离线ouyuu

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只看该作者 5楼发表于: 2020-09-08

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什么机台，什么配置？蒸镀机还是溅射机？电子枪还是阻蒸或者是离子镀？？？

离线光迹

助理工程师

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回 ouyuu 的帖子

ouyuu:什么机台，什么配置？蒸镀机还是溅射机？电子枪还是阻蒸或者是离子镀？？？ (2020-09-08 01:14) +X#JCLD

磁控溅射，搭配直流脉冲偏压电源和HIPIMS高脉冲电源