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摘要 _ z;q9&J) (?H0+zws^ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 l9Q(xuhv NBF MN%  $-&BB(-{E& ^::EikpF% 设计任务 Vf`7V $sr sO5?aB&  F|& { Rt *#TYqCc +g 6&!& \ 光栅特性与参数的严格分析 jA(>sz 3&x-}y~sg 不同光栅周期的衍射效率 k@ K7yK fRfn2jA)d  Nk[2nyeO> \@>b;4Fb+N 考虑光栅周期的选择 o0ZM[0@j k/03ZxC-  xP=/N!,# 偏振相关衍射特性 #UtFD^h zF Q&5@43
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x'zBK0i 偏振相关衍射特性 BI:k #jO!
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 ms_ VM>l 5`]UE7gT 偏振相关衍射特性 {}o>{&X 'u 4ezwF;  Z vGgmLN
j ,d*?'X 基于参数优化的光栅设计 CAT.4GM >|Q:g,I 具有固定周期的二维参数优化 9]'($:LF08
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 \7z^!m 二维参数优化 - 设计＃1 .d?%;2*{q _al|'obomy
 b.O9 ITR IZ3{>N V 二维参数优化 - 设计＃2 $ DBGLmw +uWYK9
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