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摘要 }k0-?_Z=1 Wx)U<:^e 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 CN~NyJL H )NmlV99q >04>rn#},, .`>l.gmi& 设计任务 ~uR6z//% kefv=n*]l i(yAmo9h oXlxPN39 [7Lxt 光栅特性与参数的严格分析 k;_KKvQ 14n="-9 不同光栅周期的衍射效率 sC5uA
.?>9 3R%UPT0> Ig Vo%)n =PFR{=F 考虑光栅周期的选择 s'aV q B YP#AB]2\} iQ|,&K0d] 偏振相关衍射特性 A`
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coF T2Pq BEXQTM3])I 二维参数优化 - 设计#1 'T )Or,d msc 1^2 S9HBr &r'{(O8$N 二维参数优化 - 设计#2 Vl{~@G, @ a{]g+tGH 3:[!t%Yb <I7(eh6d 制造公差分析 - 设计#2 x?, ~TC4 `E3:;| [3j$ 4rP C9<4~IM
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