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1.Horos—光学粗糙度传感器。 7
Znr2I 2.测量样本。 $*bd})y)I 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 R)"Y 40nW 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 A`4j=OF\ Wm
nsD! 系统简介 hmOhXE[ a&
O>z M(I+p 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 QUp()B1 -So&?3,\A@ 特征及技术参数 \w! G
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[ lF - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 +%G*)8N3 - 灵敏度R_q<0.5 nm ee]PFW28 - 测量时间： < 1 s。 uuzDu]Gwu - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 SxYX`NQ 5r qjqfFa !J w 传感器： #_}lF<k
#~54t0|Cd> Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 q79)nhC F &_
Ewu@4 应用： $Xw .iN]g
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： +d6/*}ht - 平面或复杂（自由形状）表面。
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- 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 `?PZvGi - 机械零件。 .}6 YKKqS - 汽车工业。 }> k 9]Y |lIkmW{
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g/s 4 QQ:1824712522 W$@q
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