鬼像是由一个或多个折射面反射引起的。SYNOPSYS 可以对两种类型进行评估和控制:鬼像程序可以显示在图像表面上的表面组合对鬼像图像负责,并且 BGI可以评价在透镜系统内的另一个位置处形成的鬼像图像的特性。 8C8,Q\WV(~
为了控制近轴图像中鬼像弥散斑的图像的大小,输入是 GGez!?E%
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M TAR WT A PGHOST JREFH JREFL ,racmxnv
M TAR WT A PUGHOST JREFH JREFL >b2wFo/em
第一个是 PGHOST,用于控制物体空间中一个点的近轴鬼像的弥散斑大小。这是通常的鬼像情况,其中在视场的一部分中的亮物体在另一部分中形成鬼像图像。 ^0HgE;4
第二种类型 PUGHOST 用于控制入瞳上的点的鬼像图像的大小。 q#\4/Dt
假设由表面 15 和表面 9 的反射产生的鬼像在图像平面处清晰地聚焦。鬼像越小越清晰,你可以通过增加弥散斑的大小来降低它的强度。假设你想让鬼像的半径不小于 5 毫米。以下是如何在 AANT 文件输入中将其定位为这个值: <g1=jG:7k
M 5 1 A PGHOST 15 9 0bl 8J5Ar5
由于较大的鬼像不是缺陷,因此提供单侧像差常常较好: /Jf}~}JP
LL 5 .1 4 1 7&
'p"hF
A PGHOST 15 9 "ifv1KZ#
1C+d&U
在这里,如果虚半径为 5.0,缺陷值为 0.1;如果半径为 4.0,缺陷值为 1.0。注意,像差的返回值总是正的,因此目标值也应该是正的。 Sy"!Q%+|
如果使用此特性进行优化,请不要打开开关 47。该选项用于对单个鬼像进行详细分析,如果该开关设置用于优化,则会产生大量不必要的显示输出。 HcCT=x7:
与 GHOST 命令类似,该特征将在开关 49 处于 on(但不用于 PUGHOST)时通过所估计的衍射斑半径增大所计算的近轴鬼像半径。 N~tq]
你也可以控制一个在镜头系统中形成的鬼像的大小(一个"隐藏的鬼像")这在高光焦度激光系统中是有用的,在高光焦度激光系统中,来自透镜表面的鬼像可能会 (D2N_l(`<
对元件造成严重的聚焦。这种控件的输入是 `rb}"V+
M TAR WT A BGI JREFL JHOT <