鬼像是由一个或多个折射面反射引起的。SYNOPSYS 可以对两种类型进行评估和控制:鬼像程序可以显示在图像表面上的表面组合对鬼像图像负责,并且 BGI可以评价在透镜系统内的另一个位置处形成的鬼像图像的特性。 <5%x3e"7u
为了控制近轴图像中鬼像弥散斑的图像的大小,输入是 z@R:~
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M TAR WT A PUGHOST JREFH JREFL ]?whx&+
第一个是 PGHOST,用于控制物体空间中一个点的近轴鬼像的弥散斑大小。这是通常的鬼像情况,其中在视场的一部分中的亮物体在另一部分中形成鬼像图像。 C_mPw
第二种类型 PUGHOST 用于控制入瞳上的点的鬼像图像的大小。 oJE~dY$Q
假设由表面 15 和表面 9 的反射产生的鬼像在图像平面处清晰地聚焦。鬼像越小越清晰,你可以通过增加弥散斑的大小来降低它的强度。假设你想让鬼像的半径不小于 5 毫米。以下是如何在 AANT 文件输入中将其定位为这个值: +&6R(7XC
M 5 1 A PGHOST 15 9 >`R}ulz)
由于较大的鬼像不是缺陷,因此提供单侧像差常常较好: 9*pH[vH
LL 5 .1 4 1 ]:uJ&xUar