|
|
摘要 m>w{vqPwJ
n#?y;Y\
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 09Q5 gal
bq5we*" V
 !-SI &qy e !w{ap8u 建模任务 vkYiO]y
l8 %BRG
 5YI6$ZdQ 7''iT{-[p 正弦光栅—效率与高度（TEA） \7o7~pll |hDN$By
 YiL^KK X*Q<REDB 正弦光栅—透射相位曲线 BOdl z#&s
Hy'EbQ
 cs: ?Wq ^ Az?^4 1r8 正弦光栅—透射相位曲线 "N,@J-]/k
Nd;pkssd
 jQfnc:' )T
slI 正弦光栅—衍射效率 0}:Wh& g
ET*:iioP
 7~N4~KAUS (
Y Z 2& 正弦光栅—效率与周期 t="nmjQs
c4Q%MRR
 1p-<F3; Lo)T 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 :yw(Co]f
( enOj0
 &g8 Xjx&zj #>z !ns 闪耀光栅—效率与高度（TEA） TOvs W<cM
\^'-=8<* >
 8|!"CQJ|H %_ 39W a 闪耀光栅—透射相位曲线 %?/vC 6
mZnsr@KF
 ?2gXF0+~Y2 ?;_Mx al' 闪耀光栅—衍射效率 tC /+
;jKL B^4nX
 r"VNq&v]9 }_+) :<Db 闪耀光栅—效率与周期 lm{4x~y$h
|$GPJaNqa
 &EC8{.7 je>mAQKi\ 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 P|;v > TTo?BVBK
 M@pF[J/
'+G Yw$ VirtualLab Fusion一瞥 m&MZn2u[4i
6>'>BamX
 *oh , Va @JJ{\?> VirtualLab Fusion工作流程 SEM- t !<h-2YF<M 4~d:@Gmk&
• 设置光栅结构 GN +,9
−使用界面配置光栅结构[用户案例] 8S upoS
• 分析光栅衍射效率 S}
&1_I
−光栅阶次分析器[用户案例] K@"B^f0mU
• 通过参数运行检查不同参数的影响 c'bh`H4
− 利用参数运行文档[用户案例] O? 7hT!{
BGstf4v>A<
 gU@R zUWWXC%R VirtualLab Fusion技术 1_@vxi~aW_
,GtN6?
 5VGZ5,+<< Ud#xgs' 文件信息 AG G xx?I }f hGofN$e 4Ub7T=LG  0/~{, L*{E -m/ :?)q"hE 进一步阅读 6x16?x
- 用于光导耦合的倾斜光栅分析 v\=k[oOu
- 光栅级次分析器 :v E\r#hJ" h,MaF<~ 购买与软件试用请联系QQ：1824712522
|
