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摘要 ]
RLEyDB ) mG 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 <x->.R_ #- z(]Y,y
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q R1j)0b6cQ% 建模任务 tLc~]G*\`s }DzN-g<K
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B>{\qj)% {S=gXIh(y 正弦光栅—效率与周期 t^(#~hx K26x,m]p
Q"QL#<N h6Q-+_5 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ,Y_[+ =^D{ZZw{
-mPrmapb3 `ek On@T0 闪耀光栅—效率与高度(TEA) U<Z\jT[ sXmo.{Ayb
'h~I#S4! /*2sg>e'QF 闪耀光栅—透射相位曲线 3V2w1CERE u,Rhm-`
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c?1:='MC B,dHhwO*l VirtualLab Fusion一瞥
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_-.~>C 0XNj!^& VirtualLab Fusion工作流程 \p&a c&] bk#t+tuk 8;r7ksE~ • 设置光栅结构 mp x/~`c −使用界面配置光栅结构[用户案例] l8_TeO • 分析光栅衍射效率 d{LQr}_o$$ −光栅阶次分析器[用户案例] <(%cb.^c=N • 通过参数运行检查不同参数的影响 W%k0_Y/5 − 利用参数运行文档[用户案例] m#oZu { 9ywPWT[^
,UD,)ZPf[ `xO&!DN VirtualLab Fusion技术 "[LSDE"( D(]])4
g}hR q% 8'kA",P 文件信息 @e/40l|X L,F )l2
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