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摘要 eAO@B
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 euY+jc%
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 <7%#RJw e /u"K`y/*j\ VirtualLab Fusion工作流程 6
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• 设置光栅结构 (K kqyrb
−使用界面配置光栅结构[用户案例] zM%2h:*+{
• 分析光栅衍射效率 N@? z&urQi
−光栅阶次分析器[用户案例] e&pt[W}X%u
• 通过参数运行检查不同参数的影响 2 G/CN"
− 利用参数运行文档[用户案例] xCU
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 Gd2t^tc C%P"\>5@ VirtualLab Fusion技术 F^DDN7AKH
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- 用于光导耦合的倾斜光栅分析 $gcC}tX - 光栅级次分析器 Hc-68]T eBl B0P
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