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摘要 >f\zCT%cf 3(!/["@7 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 b/sOfQ &Y,Q>bu
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k42b:W5% xLx"*jyL 正弦光栅—效率与高度(TEA) H\^VqNK" 5v|H<wPp
k)`$%[K8 L5Urg*GNL 正弦光栅—透射相位曲线 S d IGU[fm W|ReLM\
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BwC<rOU #G3` p!" 正弦光栅—效率与周期 @l'G[jN5 E;6~RM:
H(G!t`K qAqoZMpI|; 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 bA}Z0a %X;7--S%?g
%N)e91wC =H[\%O~?b 闪耀光栅—效率与高度(TEA) RI-A"cc6A R|iEv t
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6O9iEc,HM gmY/STN 闪耀光栅—衍射效率 dIk'pA^d /|GT\X4o
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(?\?it- ?q_^Rj$ VirtualLab Fusion一瞥 }X]\VSF{ 1Dq<{;rWb
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[ "a"x>X& VirtualLab Fusion工作流程 %ISq>A)% #--olEj! d ;^ • 设置光栅结构 bKMWWJf*' −使用界面配置光栅结构[用户案例] RNTa XR+Zn • 分析光栅衍射效率 hGI+:Js6 −光栅阶次分析器[用户案例] >7'+ye6z • 通过参数运行检查不同参数的影响 SWs3SYJ\ − 利用参数运行文档[用户案例] edijfhn jY/ARBC}H
abi[jxCG r<c #nD~K VirtualLab Fusion技术 #op:/j '^iUx,,ZQ
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