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摘要 ~hURs;Sb b2h":G|s 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 za,2r^ NMjnL&P`
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fSC.+,qk o?=fhc VirtualLab Fusion一瞥 #x|VfN5f Jh(mbD
h~.V[o7= L3>4t: 8 VirtualLab Fusion工作流程 &u4Ve8# eb7UoZw '7=<#Blc • 设置光栅结构 8"pA9Mr −使用界面配置光栅结构[用户案例] +TWJNI • 分析光栅衍射效率 DUPmq!A −光栅阶次分析器[用户案例] _6/Qp`s • 通过参数运行检查不同参数的影响 C0f[eA − 利用参数运行文档[用户案例] $WM8tF?H j~Ff/O
rOhA*_EG fIlIH VirtualLab Fusion技术 ILIRI[7( 2PI #ie4
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