|
|
摘要 &fP XU*l4
u 'A#%}3
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ,.IEDF<&
)QiQn=Ce
 Mn: /1eY -C7]qbT
} 建模任务 "O>n@Q|
^}yg%+
 Ei>m0
~<\ S*)1|~pRvQ 正弦光栅—效率与高度（TEA） ^cvl:HOog @R~5- m
 Rs& @4_D `'_m\uo 正弦光栅—透射相位曲线 p\v Mc\
o/cjXun*
 }A$WO {2 ITuq/qts]A 正弦光栅—透射相位曲线 CDy^UQb
]L PQYL
 v0*N)eqDGd #S g\q8(O 正弦光栅—衍射效率 v`q\6i[-
eBN)g^
 )o _j]K+xI o6kNx>tc) 正弦光栅—效率与周期 YMpf+kN
uUR~&8ERX
 7XrfuG*L$ "R
#k~R 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Jc4L5*Xn/
pj|pcv ^
 =wu*D5 R614#yn-+ 闪耀光栅—效率与高度（TEA） ]Z<_ " F
a5'#j35
ug 7o>PX Wa/g `} 闪耀光栅—透射相位曲线 DR 9: _
= V +I=rqo
 /BKe+]dS* n;XWMY 闪耀光栅—衍射效率 {43yb_B(
=(AtfW^H
 ["<nq`~ 1, y&d}GW 闪耀光栅—效率与周期 -PB[-CX
C2e.2)y
 FXKF\1`( H ~o3Hdd_#}N 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 _K2?YY(#> d4[(8}
x$/
 u8b2 $D
PnT)LqEF VirtualLab Fusion一瞥 9e!NOl\_;.
<T?oKOD ]
 )+I.|5g 46jh- 4) < VirtualLab Fusion工作流程 n
?[/ufl -XoP ia2 }Sy xPXs
• 设置光栅结构 Die-@z|Y
−使用界面配置光栅结构[用户案例] wl=61 Mb
• 分析光栅衍射效率 w [>;a.$
−光栅阶次分析器[用户案例] qgt[ ~i*
• 通过参数运行检查不同参数的影响 5R$G(Ap_
− 利用参数运行文档[用户案例] H2gj=krK
+y+"Fyl
 = 64r:E 84z TCX VirtualLab Fusion技术 0:Xxl76v4
5vzceQE}
 F^aR+m ]T!
}XXK 文件信息 W ~T}@T:EN $
0|a; _gNz9$S  4wzlJ19E( A?5E2T1L%. &>WWzikB* 进一步阅读 }n,Zl>T9
- 用于光导耦合的倾斜光栅分析 $>M<j - 光栅级次分析器 89}Y5 #W 1&=0Wg0ig 购买与软件试用请联系QQ：1824712522
|
