摘要 4: S- l|'{Cb
可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
ul[+vpH9 Sz'JOBp 8ZvozQE 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
t+m
ug G5' HrV 建模任务 Mh*^@_h? Y+e a 6 xAR: \KT}T 单次FMM仿真结果 hF7#i_UN< P xiJ R[a M_EXA _ U sBtk 参数扫描（1D） ?(P3ZTk?. G$!JJ.
)d ^Yu%JCN8g pG(%yIiAi 参数扫描（2D） C J#1j> 4l`"P~=2< b$G &i'd !;~6nYY 文件信息 TE t+At`] 6;vfl* =}7[ypQM`] ]Y@B= 5e/ 拓展阅读 E4dN,^_ F! 1Wy0#?L -
Grating Order Analyzer yttIA/ -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction
