|
摘要 ;GOu'34j rHOhi|+ 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 1L7^g* '<ZHzDW@ ]Z=al`- kv?DE4=; 建模任务 $XkO\6kh Gp)J[8j >YF=6zq.` 仿真干涉条纹 W*(- *\1[ k w
Y2dml!QM 走进VirtualLab Fusion Ar?ZU ASJ *|CvK&7 Zvfy%k d`5AQfL& VirtualLab Fusion中的工作流程 : vgn0IQ R4k+.hR •设置输入场 LH`2Y,E −基本光源模型[教程视频] ^rjUye%EK •使用导入的数据自定义表面轮廓 /PR4ILed •定义元件的位置和方向 UH\{:@GjNO − LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522 WT1y7+_g(d •正确设置通道以进行非序列追迹 ^~bdAO81 −非序列追迹的通道设置[用例] ke<5]&x •使用参数运行检查影响/变化 7&%#bMnw −参数运行文档的使用[用例] vW? /: R1%J6wZq 7(^F@,,@ :!?Fq/! VirtualLab Fusion技术 GY0OVAW6'c aXZi 2 文件信息 ocUBSK|K) !)W#|sys& EQ :>]O
S0r+Y0J]<
|