摘要 yd).}@ _dJ(h6%3 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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dftBD LG # ^g6P VirtualLab Fusion一瞥 8-q^.<9
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^L[:DB{Z Nk|cU; ?+ VirtualLab Fusion工作流程 ,,H "?VO N[%u>! • 设置光栅
结构 zWHq4@ K −使用界面配置光栅结构[用户案例]
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9t`;~)o - 光栅级次分析器
.tBlGMcN jL VJ+mu （来源：讯技光电）
