摘要 C
e -ru) J[ Gpd 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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YYe G9yR VirtualLab Fusion一瞥 2ioHhcYdJU
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r<vMp'u =1IK"BA2? VirtualLab Fusion工作流程 _SBbd9 W@d&X+7e • 设置光栅
结构 uM2@&)u −使用界面配置光栅结构[用户案例]
k =! Q • 分析光栅衍射效率
'ITq\1z −光栅阶次分析器[用户案例]
$mQ0w~:@ • 通过
参数运行检查不同参数的影响
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`< − 利用参数运行文档[用户案例]
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bU=Utniq X1@DI_ 文件信息 *#=Ij r~ kXz ~ez 7 
=CLPz8 EvT$|#FY 进一步阅读 P 9?cp{ * - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
QOWGQl%! - 光栅级次分析器
^ij0<*ca9 *vb"mB （来源：讯技光电）
