摘要 5H:@ 8,B K$REZ e 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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9oq)X[ La}o(7 =s VirtualLab Fusion一瞥 &`PbO
C.E[6$ oVc
>RR<eYu7m $'$>UFR VirtualLab Fusion工作流程 ?0npEz| ,35Ag#va • 设置光栅
结构 HIPL!ss] −使用界面配置光栅结构[用户案例]
l @A"U)A( • 分析光栅衍射效率
bhKV +oN −光栅阶次分析器[用户案例]
+(AwSh ! • 通过
参数运行检查不同参数的影响
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