用于测量光学元件散射光的紧凑型台式散射仪
光的散射特性对高端光学表面、膜层和材料的发展起着至关重要的作用。对于光学表面,常常用粗糙度来确定光学表面受散射影响后的光学特性。对于诸如不均匀体、亚表面损伤和局部缺陷的散射常常会忽略掉,而这些来源的散射对系统有很大的影响,所以需要一个能在终端借测散射性质的仪器来解决这一问题。在有些应用中,可以观察到由粗糙度直接过渡到散射的设置。 测量高性能光学元件的散射光对仪器的要求非常严格,主要要求概括如下: ■ 在相关的波长下进行测量(尤其是膜层) ■ 高动态范围(对于可见光光学至少需要11个数量级) ■ 高灵敏度(对于可见光光学等效噪声ARS <10-6 sr-1),散射损耗在ppm级,粗糙度在亚纳米量级 ■ 小近角限值(对于成像应用<1°) ■ 3D功能(在入射面内外测量) ■ 测量达到弯曲样品的能力以及绘制大的采样区间 为达到这些要求,对用在仪器中的组件和程序有更好的要求,如: ■ 高机械精度和测角仪系统的高稳定性,需要考虑由重力造成的弯曲效应 ■ 尽可能少的固有散射和杂散光的光束发生系统 |