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    [原创]使用SFIT命令对非球面数据拟合 [复制链接]

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    离线小火龙果
    工程师
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-01
    SFIT Surface fit to data
    当您想要表面的面型与（X，Y，Ｚ）坐标（如：由数字化干涉图产生的）相匹配时，SYNOPSYS可以计算曲面建模所需的系数。在程序中获得的大部分表面面型都能够匹配。（如果面型时旋转对称的，您也可以用CSAG，输入更简单）。
    输入是：
    wf=#w}f  
    ,b-wo  
    必须在第二行输入所需的面型以及表面编号。在这个输入中，面型是下面的其中之一：
    = EyxM  
    [YHvyfk~_  
    这里给出22项幂级数多项式（R是轴向曲率半径）：
    ^W_}Gd<-#Y  
    %,K|v  
    (e= ksah3>  
    V*=cNj  
    "<v_fF<Y  
    Zernike多项式： HAf.LdnzS  
    Jtd@8fVi  
    U"%k4]:A  
    umcbIi('  
    ` eND3c  
    6KnD(im  
    如果包含[L]，则假定DZ变形输入与镜头单位相同。如果在单词２中存在任何其他条目或空白，则假定DZ信息处于主波长的波形中。可选输入D是一个阻尼因子，可用于防止在变形输入低于多项式约束时出现奇异性，该阻尼因子通过最小二乘法求解。但是最好输入足够大的变形数组来过度约束解。
    ]WWre},  
    SN是数据将被分配到的表面编号。可选输入APS是参考孔径，可被Zernike系数使用，其在该孔径上是正交的（默认是单位圆），也可被USS面型使用；APD是全孔径干涉图上的尺寸。
    如果APS不等于APD，则（X，Y）干涉图坐标将自动缩放，以使APD处的位置变得等于APS。
    如果在DEF之前打开switch 13，则还会生成输入文件列表和使用系数计算的变形表，该列表可以与原始输入数据进行比较，以检查曲线拟合的精度。
    CV]PCq!  
    请注意，任何曲线拟合程序必须处理两个相互矛盾的要求：您想要拟合尽可能准确，同时您总是给出不准确的数据。物理测量，或数字化干涉图的结果，只有有限的精度。由于这些冲突，准确复制所有输入数据点的曲线可能会显示明显的振荡。也就是说，这些数据点之间的曲线可能是剧烈振荡的，而这些点本身非常准确。
    Kp ~k!6x  
    处理这种冲突通常由两种办法。第一种是给出输入设置的阻尼因子。该参数的作用是根据系数的大小来控制拟合：较大的阻尼产生较低的系数和较平滑的曲线。拟合点在输入点处可能不那么准确，但这些点之间的振荡较少，结果可能比输入数据更准确。第二种方法，适用于Zernike拟合，即给出比实际CAO稍大的单位孔径尺寸。这使得程序使用多项式拟合数据，其中所有空间波长与较小的实际孔径相比较大。结果再次减小响应。您将不得不尝试这些方法，检查RSS拟合误差和拟合平滑度，如PUPIL或SPROFILE功能显示。
    请注意，以前的版本中使用命令DEF，ZERNIKE和ZE4.这些格式仍然可用，但建议您使用新格式。
    nKu`Ta*fX  
    这里给出一个实例：
    CCW R>/M>*C  
    GET 1 }ebw1G  
    ON 13 |GdA0y\v*}  
    CC: CONTOUR/SPROF 2 F 1 0 w?jmi~6  
    SFIT L 0 18 30 g#9w5Q  
    1 POWER Pu/0<Orp7  
    8.4657    31.471    4.72E-06 l]sO[`X  
    15.027    -21.28    1.04E-05 s.=)p"pTd  
    -22.266    7.0026    1.38E-05 2mu~hJ  
    5.166     26.108    1.01E-05 yC+N18y?  
    -20.408    10.799    1.41E-05 9'8OGCN  
    -22.255    9.6561    1.27E-05 l2VO=RDiW  
    -9.7888    23.198    1.16E-05 EOtrrfT&  
    -24.157    8.4184    1.12E-05 gW/H#T,  
    -24.281    5.2749    1.20E-05 4 3]6J]!)  
    5.1661    -22.621    1.36E-05 *uA?}XEfi  
    2.883      -23.561    1.29E-05
    0.42924  -23.924   1.27E-05
    -1.19E-02    -25.942    1.04E-05 ^}/YGAA  
    3.0878    -25.328    1.09E-05 k`oXo%  
    21.093    14.504    1.12E-05 xBgf)'W_Z  
    17.412    19.966    1.02E-05 1yX&iO^d  
    26.045    6.9241    9.75E-06 RVI],O  
    5.611          23.939    1.23E-05 R&ou4Y:DG  
    22.97           7.713    1.27E-05 &=$8 v"&^  
    13.705    -21.132    1.13E-05 Ic#+*W\ZW  
    21.701    -11.102    1.24E-05 OUI}jJw+  
    17.7         -15.779    1.31E-05 3-o ]H'6  
    -21.769    13.317    1.13E-05 ( fdDFb#1  
    10.098    -19.747    1.49E-05 DOhXb  
    18.793    18.333    1.05E-05 ~{^A&#P  
    24.664    12.562    9.05E-06 MYN1zYT6j  
    13.136    -18.322    1.45E-05 Wv=L_E_  
    -24.876    -9.0552    1.01E-05 x-tA {_:  
    END
    第一列X坐标，第二列Y坐标，第三列sag值。
     
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    离线落叶
    助理工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-03-09
    这个太难理解了 .*Hv^_  
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