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    [求助]目前工艺介质膜厚精度能到多少? [复制链接]

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    离线alien21
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 03-20
    关键词: 镀膜
    想咨询一下,以目前的镀膜工艺水平,蒸镀和溅射方法镀制介质膜,膜厚精度分别能到多少? 膜系总厚在100nm左右。 G-~+FnUC  
     
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    离线alien21
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    只看该作者 1楼 发表于: 03-20
    求教,有人吗
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 03-20
    你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度? H,u{zU')  
    物理膜厚精度由水晶片的精度决定,光学膜厚精度由光控的精度决定。
    离线morningtech
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    只看该作者 3楼 发表于: 03-20
    晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系, 工艺好点,  2%~3%的也能应付。 4z%::?  
    再提高,0.5%准确度比较难了。 @cRR  
    镀膜更重要的是重复性。
    离线alien21
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    只看该作者 4楼 发表于: 03-21
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度? |E?PQ?P  
    物理膜厚精度由水晶片的精度决定,光学膜厚精度由光控的精度决定。 (2020-03-20 16:40)  0 i'bo*  
    5bB\i79$  
    谢谢!物理膜厚精度,
    离线alien21
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    只看该作者 5楼 发表于: 03-21
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系, 工艺好点,  2%~3%的也能应付。 @HzK)%@  
    再提高,0.5%准确度比较难了。 ZZw2m@T>  
    镀膜更重要的是重复性。 (2020-03-20 19:47)  **$kW bS  
    We++DWp  
    明白了,谢谢!
    离线ouyuu
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    只看该作者 6楼 发表于: 03-25
    回 alien21 的帖子
    alien21:谢谢!物理膜厚精度, (2020-03-21 09:56)  V FM!K$_  
    ~Ad2L*5S  
    物理膜厚由水晶控制,一般是5%左右。 TV0sxod6  
    水晶片的震荡频率会受温度影响,镀膜时候温度上升会干扰到水晶的精度。 tAo$; |  
    所以有些高精度的镀膜机会用水冷来解决温升的问题。 1ni72iz\  
    但是水晶片温度低了和膜的结合力受影响,水晶片上沉积多了以后膜就会脱落。 :Jf</uP_  
    水晶片的使用寿命会受影响
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