[求助]目前工艺介质膜厚精度能到多少？ [复制链接]

想咨询一下，以目前的镀膜工艺水平，蒸镀和溅射方法镀制介质膜，膜厚精度分别能到多少? 膜系总厚在100nm左右。 cU <T;1VQ  

求教，有人吗

你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度？ t(3<w)r2  
物理膜厚精度由水晶片的精度决定，光学膜厚精度由光控的精度决定。

晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系， 工艺好点，  2%~3%的也能应付。 }.md$N_F  
再提高，0.5%准确度比较难了。 6zuWG0t  
镀膜更重要的是重复性。

ouyuu:你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度？ (1.E9+MquU  
物理膜厚精度由水晶片的精度决定，光学膜厚精度由光控的精度决定。 (2020-03-20 16:40)  |\g=ua+h  

t*<@>]k  
谢谢！物理膜厚精度，

morningtech:晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系， 工艺好点，  2%~3%的也能应付。 xA|72!zk0P  
再提高，0.5%准确度比较难了。 3Qt-%=b&  
镀膜更重要的是重复性。 (2020-03-20 19:47)  98u$5=Z'/  

l4c9.'6  
明白了，谢谢！

alien21:谢谢！物理膜厚精度， (2020-03-21 09:56)  o+e
:HjZZ  

?kfLOJQ:I  
物理膜厚由水晶控制，一般是5%左右。 Gh3b*O_,  
水晶片的震荡频率会受温度影响，镀膜时候温度上升会干扰到水晶的精度。 j2
A Z.s  
所以有些高精度的镀膜机会用水冷来解决温升的问题。 ttlFb]zZh  
但是水晶片温度低了和膜的结合力受影响，水晶片上沉积多了以后膜就会脱落。 +C4UM9  
水晶片的使用寿命会受影响

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