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摘要 Cg6;I.K +{>.Sk'$ 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备，它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹，我们构建了一个菲索干涉仪，并利用它测试了不同的光学表面，例如圆柱形和球形。 可以看出，产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 !A-;NGxE
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定义元件的位置和方向 Sgx+V"bkT
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正确设置通道的非序列追迹 ,E]|\_]
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 }{#7Z8 * S{\#s VirtualLab Fusion 技术 / (.'*biQ
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 6i ^0T J;"nm3[.q 文件信息 K.r!?cfv jiOf')d5
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