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摘要 <L5[#V_ [g<6i.<I 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 t|%iW%m4 oYqlN6n,=6
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H\)on" ],' n!:> 圆柱面下的观测条纹 ^V>sNR WFLT[j!1 &AlVJEI+ CXJ0N 球面下的观测条纹 # {!Qf\1M kGX`y.-[ )LH nDx B4&x?-0ZC VirtualLab Fusion 视窗 KWhw@y-5j@ hv7!x=?8 3LX<&."z VirtualLab Fusion 流程 #CVD:p tjO||]I .qF@
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