摘要
r'8qZJgm 6+!$x?5|NP 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
g-? @a {.eo?dQ 52ExRG S F/V-@SF 建模任务
w$iQ,-- |yS % ~[<C6{ 光栅特性与参数的严格分析
FRa>cf4 j<'ftKk 不同光栅周期下的衍射效率
LY-,cXm&| "%lIB{ :CLWmMC_ # ~Doz7~ 关于光栅周期选择的考虑
0CO@@`~4 1J([*) .+A)^A _AzI\8m 偏振相关的衍射特性
Me79:+d >dx/k)~~-L ,?P< =M {7jl) x3l JkhW LQ>o 7r&lW<:> EHN(K- wx^Det 通过参数优化进行光栅设计
eAmI~oku auga`* 固定周期的2D参数优化
(n`]
sbx , #=TputM )r^vrCNy> 2D参数优化–设计1
w"5Eyz-eO fLnwA|n= rY6x):sC C$q};7b1N 2D参数优化–设计2
^s6}[LDW>@ %N)B8A9kh _V4O#;%? 7HkFDI()1 制造
公差分析–设计2
nfbR"E
jXr R\|,GZ!`+ .u>[m. H1f='k]SZ 变化光栅周期的3D参数优化
|Fe[RGi+8 <Y."()}GeH 4d\^ yI1:L
- 制造公差分析
?HJh;96B jB8Q% {% o`QNZN7/} s>m2qSu 走进VirtualLab Fusion
Ly&+m+Gwu & ?x R }%p:Xv@X! Qn7T{ BW VirtualLab Fusion中的工作流程
0CX,"d_T, N]w_9p~=1 0W(mx-[H/ 3l%Qd< •构造光栅
结构 y QClq{A −
通过使用界面来配置光栅结构 ])wdd>' [用例]
gzIx!sc •分析光栅衍射效率
BbI%tmA7 −
光栅级次分析器[用例]
#h?IoB7 •使用参数运行搜索初始解决方案
`*Yw-HL −
参数运行文档的使用[用例]
H0;Iv#S! •通过参数优化找到最终设计
EW|$qLg qS#G7~ur>y VirtualLab Fusion技术
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