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    [分享]VirtualLab:全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线xunjigd
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-12-09
    关键词: 干涉仪
    摘要 $GX9-^og=T  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 "U iv[8B  
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    建模任务 HsAKz]Mq  
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    仿真干涉条纹 kqp*o+Oz',  
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    走进VirtualLab Fusion ( 2i{8  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 L=<{tzTc  
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    •设置输入场 hV[=  
    基本光源模型[教程视频] btv.M  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 .?;"iv+  
    •定义元件的位置和方向 uDsof?z  
    LPD II:位置和方向[教程视频] ec"+Il  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 HbQ+:B]  
    非序列追迹的通道设置[用例] |9fGn@-  
    •使用参数运行检查影响/变化 aDVBi: _  
    参数运行文档的使用[用例] t^(wbC  
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    VirtualLab Fusion技术 QOKE9R#Y  
    OjBg$f~0F  
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    文件信息 wsyAq'%L  
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    U+'h~P'4  
    (来源:讯技光电
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