[分享]VirtualLab：全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 a9]F.Jm  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 <qJI]P  
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建模任务 g@0<`g  
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仿真干涉条纹 KmS$CFsGL  
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走进VirtualLab Fusion 0<tce  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 &U*MLf83`  
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•设置输入场 sNB*S{   
−基本光源模型[教程视频] ^u2unZ9BK!  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 dpAj9CX(  
•定义元件的位置和方向 X 4L"M%i  
− LPD II：位置和方向[教程视频] h0**[LDH  
•正确设置通道以进行非序列追迹 s/Ne,v  
−非序列追迹的通道设置[用例] QIl=Ho"c  
•使用参数运行检查影响/变化 )/4eT\=  
−参数运行文档的使用[用例] S $j"'K  
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VirtualLab Fusion技术
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文件信息 $ljzw@k  
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更多阅览 C2e.RTxc  
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