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    [分享]VirtualLab:全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线xunjigd
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2019-12-09
    关键词: 干涉仪
    摘要 BElJB&I  
    Syp"L;H8Em  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 }{9&:!uA  
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    仿真干涉条纹 /y7M lU9  
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    走进VirtualLab Fusion |wEN`#.;b  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 dm "n%  
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    •设置输入场 I|-p3g8\  
    −基本光源模型[教程视频] aq+Y7IR_  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 AB Xl  
    •定义元件的位置和方向 {y]mk?j  
    − LPD II:位置和方向[教程视频] zOEY6lAwI  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 *{undZ?(>  
    −非序列追迹的通道设置[用例] l:6,QaT1  
    •使用参数运行检查影响/变化 0qjXQs}  
    −参数运行文档的使用[用例] ' /Bidb?  
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    VirtualLab Fusion技术 .I VlEG0  
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    (来源:讯技光电)
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