[分享]VirtualLab：全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 ?Zh,W(7W  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 c4 bo  
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建模任务 #!7b3>}  
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仿真干涉条纹 +2JC**)I
 
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VirtualLab Fusion中的工作流程 9iM[3uyO  
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•设置输入场 tk66Ggi[K  
−基本光源模型[教程视频] "VgPaz
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 J|@kF!6  
•定义元件的位置和方向 [WUd9fUL  
− LPD II：位置和方向[教程视频] ]EfM;'j[  
•正确设置通道以进行非序列追迹 L8~zQV$h  
−非序列追迹的通道设置[用例] }~!KjFbs  
•使用参数运行检查影响/变化 ={B?hjo<-
 
−参数运行文档的使用[用例] Co^GsUJ  
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VirtualLab Fusion技术 5NN`tv  
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