[分享]VirtualLab：全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 !Miw.UmPm  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 vxN,oa{hf  
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建模任务 MLVrL r t  
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仿真干涉条纹 *SP@`)\D  
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走进VirtualLab Fusion e$ pXnMx7  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ePD~SO9*  
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•设置输入场 hzR1O(  
−基本光源模型[教程视频] RH^!7W*  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 hW~XE{<  
•定义元件的位置和方向 mT:Z!sS  
− LPD II：位置和方向[教程视频] YoU|)6Of  
•正确设置通道以进行非序列追迹
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−非序列追迹的通道设置[用例] VgB
Z@*z(x  
•使用参数运行检查影响/变化 ?^f=7e8]  
−参数运行文档的使用[用例] 9?x
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VirtualLab Fusion技术 P84uEDY  
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更多阅览 _
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