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    [分享]VirtualLab:全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线xunjigd
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-12-09
    关键词: 干涉仪
    摘要 |3C5"R3ZGO  
    r:5u(2  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。  zt2#6v  
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    建模任务 ^]TYS]C  
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    仿真干涉条纹 g]9A?#GyE  
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    走进VirtualLab Fusion 6]fz;\DgP  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 ZDr&Alp)o  
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    •设置输入场 w0,rFWS  
    −基本光源模型[教程视频] "f4atuuXa  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 sEx`9_oZ  
    •定义元件的位置和方向 ,IRy. qy  
    − LPD II:位置和方向[教程视频] 1? Im"  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 "p"~fN /I9  
    −非序列追迹的通道设置[用例] oT*qMLdn  
    •使用参数运行检查影响/变化 Cn.x:I@r  
    −参数运行文档的使用[用例] dReJ;x4  
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    VirtualLab Fusion技术 q]wP^;\Jl  
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    文件信息 ?btZdnQ))S  
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    d7qYz7=d  
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    (来源:讯技光电)
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