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    [分享]VirtualLab:全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线xunjigd
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-12-09
    关键词: 干涉仪
    摘要 eK.e| z|  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 )A!>=2M `  
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    KiI!frm1  
    建模任务 MxWy*|J}  
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    A6GE,FhsG  
    仿真干涉条纹 hZh9uI7.  
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    走进VirtualLab Fusion R16'?,  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 i-bJS6  
    MxSM@3v(  
    •设置输入场 NLS%Sq  
    基本光源模型[教程视频] cs T2B[f9D  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 \zieyE  
    •定义元件的位置和方向 RRmLd/(  
    LPD II:位置和方向[教程视频] qY~`8 x  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 L!=4N!j  
    非序列追迹的通道设置[用例] !O-C,uSm  
    •使用参数运行检查影响/变化 ]?3un!o3o  
    参数运行文档的使用[用例] '&.#  
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    VirtualLab Fusion技术 vr0WS3  
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    文件信息 Y|8:;u'  
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    (来源:讯技光电
     
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