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    [分享]VirtualLab:全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线xunjigd
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-12-09
    关键词: 干涉仪
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 A9[ELD>p  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 j`Xe0U<  
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    •设置输入场 !dVth)UV  
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    •使用导入的数据自定义表面轮廓 e?%Qv+)W  
    •定义元件的位置和方向 c:Tw.WA  
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    •正确设置通道以进行非序列追迹 &xlz80%  
    非序列追迹的通道设置[用例] 7ZbnG@s7  
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    -   Mach-Zehnder Interferometer [.O 3z*[9#  
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    (来源:讯技光电
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