1. 摘要
sxqXR6p{ S("bN{7nE 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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Oe27 3Y^e ,[~EThcq ^Ni)gm{?k 2. 建模任务
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vk 5&>(|Y~I 3. 干涉条纹的变化
jsR1jou6 +]6 EkZO DW-LkgfA k\lj<v<vD 4. 走进VirtualLab Fusion
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s 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
vfj Ipg%i ]X5*e' uODsXi{z t@ Jo ?0s 6. VirtualLab Fusion 技术
kO.rgW82 #Kl;iY:n V7^?jck 7. 文件信息
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration }YjSv^ -
Mach-Zehnder Interferometer ij TtyTC -
Fizeau Interferometer for Optical Testing !nu['6I% l>G#+#{ (来源:讯技光电)