1. 摘要
,,+ ~./) ![H!Y W' 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
:UuPy|> ;1Kxqpz_i G$\2@RT9[ S30@|@fTz 2. 建模任务
:sT\-MpQvn %,9iY&;U" bI^zwK,@4 yK"OZ2Mv 3. 干涉条纹的变化
5H_%inWM U].u) g$ "Fv6u]Rv kqYvd]ss 4. 走进VirtualLab Fusion
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!5P 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
@Yua%n6]#D }K=TB}yY jjgY4<n "i$uV3d 6. VirtualLab Fusion 技术
tMaJ; 4 WWF#&)ti SfE^'G\ 7. 文件信息
UV>^[/^O C~M~2@Iori A%u@xL,_ ]y6`9p 更多阅读
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Fizeau Interferometer for Optical Testing G+=6]0HT %g(h%V9f (来源:讯技光电)