1. 摘要
#Nte^E4 U '[?9/T 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
'nK~'PZ, Fu8 7fVi/\ ke/_k/ @XOi62( 2. 建模任务
;Mj002.\G S=gW(c2' !W1eUY U q X1E 3. 干涉条纹的变化
)u@t.)ChAV Y~oT)wTU lv:U%+A Nm8w/Q5D` 4. 走进VirtualLab Fusion
NMjnL&P` 8.I9}_ 'o\;x"YJ ~q% 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
2H&{1f\Bf gwQvao \Tq"mw9P ~HP
LV 6. VirtualLab Fusion 技术
Vdvx"s[`m 4`mO+.za1 Wp*sPZ 7. 文件信息
6MrKi|'X@ X9'xn 0n; ,0T)Oc|HL/ dE>v\0 3!8 更多阅读
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Fizeau Interferometer for Optical Testing `F,zenk= rrQ0qg (来源:讯技光电)