1. 摘要
0\Qqv7> 2bfKD'!aH 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
do%6P^qA 'cT R<LVo *^Wx=#w$V 7\K=8G 2. 建模任务
=\?KC)F*e e&E""ye U*=ebZno W :jC2,s!m 3. 干涉条纹的变化
-D0kp~AO4N a}+|2k_ Y|g8xkI}XB p0UR5A>p 4. 走进VirtualLab Fusion
+hRAU@RA 9#iu#?*B NI\jGR. EV z>#GC 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
cRK1JxU %<DXM`Y :e`;["(, P|_>M SO1' 6. VirtualLab Fusion 技术
`[w:l[i )}1J.>5 M;,Q8z% 7. 文件信息
U|={LU 34Q l7LQp[ lphQZ{8 r:2G 11[ 更多阅读
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