1. 摘要
D?$f[+ ;tO (,^ 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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2!A/]:[F E8/P D 2. 建模任务
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X (fC [Y 3. 干涉条纹的变化
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ws@;2?%A n<MH\.!tM 4. 走进VirtualLab Fusion
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mD tD7FzJ R ~#\gMs 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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Lf3:' n Gt' %:9r 6. VirtualLab Fusion 技术
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W`V 7. 文件信息
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Fizeau Interferometer for Optical Testing u9 J;OsnHK +c?1\{M (来源:讯技光电)