1. 摘要
BNCJT$tYX m[{&xF|_ 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
&iOtw0E (<C%5xk $M`;." $cOD6Xr)d 2. 建模任务
NydW9r:T I=%sDn (bt]GAxb1 )Zf}V0!?+ 3. 干涉条纹的变化
B^(rUR =(X'c.%i L[G\+ %B&?D@ 4. 走进VirtualLab Fusion
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4[ (MoTG^MrBY 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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9m (来源:讯技光电)