1. 摘要
Z(Z$>P&4 ;BmPP, 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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!~_6S*~ 'A{B[ 2. 建模任务
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dh-?_|" cES8%UC^i 3. 干涉条纹的变化
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&ev#C%Nu U:q4OtiP 4. 走进VirtualLab Fusion
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qE*h UzA U7xKu75G1 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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'Kyp_ 6. VirtualLab Fusion 技术
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X- P%^mK 7. 文件信息
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Fizeau Interferometer for Optical Testing [H=l#W@ r"W<1Hu (来源:讯技光电)