1. 摘要
^3BPOK[*gB |Y05 *!\P* 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
z=) m6\ W#~7X >mX6;6FF icIn>i<m 2. 建模任务
nj:w1E/R |T$?vIG[ 51b%uz bj}Lxc ], 3. 干涉条纹的变化
ij;NM:|Sd xYCJO(& A5J41yH ^h$*7u"^y 4. 走进VirtualLab Fusion
w~)tEN> Bh'fkW3 KD,3U/3 'fl< ac,. 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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)S{ hdCd:6 !IdVg $7 6. VirtualLab Fusion 技术
&`@YdZtd" Rlk3AWl2u o=_7KWOA 7. 文件信息
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Fizeau Interferometer for Optical Testing KCyV |,+n !i~(h&z (来源:讯技光电)