1. 摘要
D@!=d@V. ID#I`}h.k 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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5Hcf;P7 }1>[ 2. 建模任务
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,\qs4& _x!7}O#k 3. 干涉条纹的变化
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ve\X3"p# WJ_IuX51' 4. 走进VirtualLab Fusion
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I_A@BnM{I Unsogd 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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Br`IW }fKSqB]T- 6. VirtualLab Fusion 技术
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9Lr'YRl[W 7. 文件信息
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