高NA(
数值孔径)
物镜常用于
光学显微及光刻,并已广泛在其他应用中得以使用。众所周知,在高数值孔径物镜的使用中,电磁场矢量特性的影响是不可忽略的。一个众所周知的例子就是由高NA(数值孔径)物镜聚焦线性偏振圆
光束时,焦斑的不对称性:焦斑不再是圆的,而是拉长的。我们通过具体的物镜
实例来说明了这些效应,并演示了如何在
VirtualLab Fusion中使用不同的
探测器分析焦斑。
#6!5 2 {Ha8]y 高数值孔径物镜的聚焦分析
)(7&X45,k
=~I-]4 高数值孔径(NA)物镜广泛用于光学光刻、显微
系统等。在对焦斑的
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。
?<*-j4v fo4.JyBk 高数值孔径(NA)物镜系统的先进点扩散函数计算
<x\7L2#p >Yt/]ta4+ 当线性偏振高斯光束经高数值孔径(NA)
非球面透镜聚焦时,由于矢量效应,焦平面上的PSF呈现非对称性。
%0Y=WYUH> D3c2^r$Z 有关更多信息,请发送邮件至:
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http://www.honglun-seminary.com jLJ1u/l>; 3v")J*t (来源:讯技光电)
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