[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 7DW]JK l  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 M_0zC1  
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建模任务 Uv_N x10  
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概述 -37a.  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 iVtl72O  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5/[H+O1;  
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V=I"-k}RL  
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光线追迹仿真 z@s5m}  
B(k=oXDF  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 JN/UUfj  
•单击go！ 3OyS8`  
•获得了3D光线追迹结果。 `i,_aFB|  
Hi!Jj  

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光线追迹仿真 Bsf7mcXz7z  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 DVZdClAL  
•单击go！ yn AB  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 EO|:
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K`}{0@ilCw  
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场追迹仿真 {n3EGSP#  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *F^wtH`  
•单击go！ oq/G`{`\  
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场追迹仿真（相机探测器） <%}QDO8\i  
F~#zxwd  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 uh
H^>z KA  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ! hd</_#  
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图片:1-1911251A41O04.png

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^Jp&H\gI.  
场追迹仿真（电磁场探测器） }K1 0Po'  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :%&Q-kk4!  
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图片:1-1911251A519A0.png

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M4LP$N  
场追迹仿真（电磁场探测器） ;rI@*An  
p?[Tm*r  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 k-V,~c  
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文件信息 1sE?YJP-  
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