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机台清机前后分光偏移过大
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机台清机前后分光偏移过大
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孔鑫鑫
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发表于: 2019-09-24
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机台清机后7层AR膜朝短波偏移50个
纳米
,机台是成都四盛的1350,晶控
镀膜
,温度280,3.0-3镀膜,涉谷的
电子
枪,清机周期为一个班10天,各位大神帮忙分析一下什么原因,谢谢啦
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孔鑫鑫
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孔鑫鑫
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2楼
发表于: 2019-09-25
一图清机后,2图清机前,三图和一图重复
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孔鑫鑫
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3楼
发表于: 2019-09-25
机台是一年多一点的新机台,蒸发速率H4、MGF2都是5Ã/S
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淡小疼
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4楼
发表于: 2019-09-25
第一次出现这种情况还是每次清理完都有这种情况?
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5楼
发表于: 2019-09-26
已经连续两次了,我也是刚到这边没多久
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超级便当盒
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6楼
发表于: 2019-09-26
挡板位置有偏差?
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sosjinyan
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7楼
发表于: 2019-09-26
我用的光驰机 晶控。 也有这个情况,特性无缘无故左移。 6年时间 大概出现过4-5次左右吧
B<