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    [原创]说说自己的经验 关于算tooling和算材料折射率 [复制链接]

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    离线luffy17520
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-01-04
    9j;!4AJ1t  
    比如sio2 材料  n一般是1.45 lYm00v6y  
    然后3个光学厚度的话是 180nm  现在电脑里面模拟下3个光学厚度下的波形,然后镀180nm厚度的sio2  这个是电脑输入的值 A}uWy^w  
    然后测试结果 Aba%QQQ  
    sio2 测试反射比较明显,测试出来的曲线可以用来做2件事 :9>U+)%  
    1.通过测试波形 用其他软件 可计算你现在镀膜环境下的n值,如果偏差不大 可忽略啊 然后只有3个点的n值  算过好多机器和环境下的sio2的折射率 感觉都差不多 影响不大。 l~1l~Gx_&n  
    2.用 模拟结果的特征峰 跟  测试结果的特征峰  相除可得到tooling值,这个也是粗略的值 但是用下来还是比较方便简单的 lH,/N4 r*&  
    可多次重复 得到一个比较可靠的值 UY\E uA9  
    其实镀膜上有好多参数可做tooling值 镀膜时间 镀膜面积 等,本人还是喜欢测试波形与模拟的波形的比值来表示。 D#>d+X$  
    2R3)/bz-SV  
    当然也可用tfc macleod来计算折射率,都是比较简单的,但是算法不一样,计算结果还是有点偏差的,macleod的会比较好点,会自动修正测试结果。
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    cyqdesign 光币 +15 原创内容,奖励! 2016-01-04
     
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    离线rexchou
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    只看该作者 1楼 发表于: 2016-04-19
    我提供我自己算tooling值與N值計算。 >ISBK[=H  
    [GW;RjPE  
    若有勘誤地方,請不吝嗇指導。 uH} }z!  
    2;SiH]HNS  
    N值我是利用 實際光譜值(T/R值)套入macled 利用1/4 & 1/2 點的位置去標示,求出NK值。 `4|:8@,3{  
    :{#w-oC>6P  
    tooling也是利用實際光譜值與設計值(光譜波形)相除。 DL '{ rK  
    离线yzhuang
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    只看该作者 2楼 发表于: 2016-05-06
    莱宝的软件算折射率最方便
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    只看该作者 3楼 发表于: 2016-05-15
    2楼的貌似很直观,谢谢楼主分享
    离线jakzhou
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    只看该作者 4楼 发表于: 2016-06-02
    N值我是利用 實際光譜值(T/R值)套入macled 利用1/4 & 1/2 點的位置去標示,求出NK值。 ys} I~MK-  
    +nQp_a1{9%  
    tooling也是利用實際光譜值與設計值(光譜波形)相除。
    离线古书生
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-03-30
    tool 值你要考虑设计波长!
    离线winstonwang
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    只看该作者 6楼 发表于: 2017-05-09
    谢谢分享
    离线qs2784
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    只看该作者 7楼 发表于: 2017-08-31
    回 yzhuang 的帖子
    yzhuang:莱宝的软件算折射率最方便 (2016-05-06 09:56)  `zsooA Gt  
    (0^ZZe`# j  
    求分享莱宝软件
    离线sunshuang
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    只看该作者 8楼 发表于: 2020-11-25
    回 yzhuang 的帖子
    yzhuang:莱宝的软件算折射率最方便 (2016-05-06 09:56)  UjS+Ddp  
    b>Ea_3T/  
    你好,我有莱宝软件英文版,但不知道具体的方法和步骤,可否分享一下操作方法和步骤,有教程不胜感激,谢谢🙏928408943@qq.com