[求助]机台清机前后分光偏移过大 [复制链接]

应该是真空放气造成的。 fP:n=A{  
清机后护板表面水气会比较多，会影响真空度。 2"'<Yk9  
另外你清机时门打开时间过长，真空仓内又比较脏，也会吸收很多水气。 ,y>%m;jL  
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建议把侧壁加热开到最大，抽个两小时，同时镀个几层膜。

淡小疼:第一次出现这种情况还是每次清理完都有这种情况？ (2019-09-25 22:09)  W/\M9  

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这一次清机没有更换电子枪灯丝，分光偏移不大，可以接受，请问电子枪会影响这么多吗？

工艺是否充氧？ 0C,2gcq  

孔鑫鑫:这一次清机没有更换电子枪灯丝，分光偏移不大，可以接受，请问电子枪会影响这么多吗？ (2019-09-28 10:43)  flr&+=1?D  

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新灯丝配合旧的枪头是会有这种现象。 ]ICBNJ  
新灯丝表面比较光滑，旧枪头的卡槽间隙一般也会比较大。 re%MT@L#  
卡槽卡不住灯丝，点着后由于热胀冷缩，位置就不稳定。 WokQ X"  
灯丝烧一段时间就好了。 
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这种情况下只有换灯丝夹

大清机器一般会造成抽气速度快,介质折射率发生变化,成膜条件与定标条件不一直,又是晶控,介质膜往短波方向漂移,如果想保持一致性,建议每两炉换一块衬板,不要一次性换完,特别是用繁枫的扩散泵会有轻微返油,大清把油处理后,再加上所有清洗的衬板,头几炉建议多抽气烘烤几次,当然最好还是找到适合自己机器的清理方式,让每次镀膜机器内部环境接近一致

孔鑫鑫:已经连续两次了，我也是刚到这边没多久 (2019-09-26 08:32)  NxyrP**j  

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晶控机清机完肯定会往短波偏的，清完机第一炉先试镀，你观察下每次偏移是否稳定有规律，如果是规律的每次补偿就是了，还有检查补正板、光斑、真空度这些是否前后一致

学习了，的确有此现象，但原因不明！

10天清一次机台没有对比性啊！

正常保养前后20NM偏移，你这个有些多了，多弄几次找准规律就行了。

是否是修正板升起的高度有变化了？