Dual-beam FIB

发布:探针台 2019-09-17 14:15 阅读:1468
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双束聚焦离子束(Dual-beam FIB):双束聚焦离子束,北京双束聚焦离子束,检测 F0TB<1  
Dual-beam FIB机台能在以离子束切割样品时,同时用电子束对断面进行观察。所建置的业界相当高阶机台,具备超高分辨率的离子束及电子束。能针对样品中的微细结构进行奈米尺度的定位及观察,大幅提升失效分析及TEM样品制备的成功率与影像质量。 -=Q*Ml#I  
双束型聚焦离子束显微镜的应用,主要以下列所述为主: m.rmM`  
半导体组件故障分析(能力可达20nm高阶制程) z2~ til  
半导体生产线制程异常分析 D%pF;XY  
磊晶与薄膜结构分析 JGrWHIsNV  
电位对比测试 $ bR~+C  
纳米级结构加工
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