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    [广告]Dual-beam FIB [复制链接]

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    离线探针台
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-17
    Q~b_dx{m  
    双束聚焦离子束(Dual-beam FIB):双束聚焦离子束,北京双束聚焦离子束,检测 i j!*CTG  
    Dual-beam FIB机台能在以离子束切割样品时,同时用电子束对断面进行观察。所建置的业界相当高阶机台,具备超高分辨率的离子束及电子束。能针对样品中的微细结构进行奈米尺度的定位及观察,大幅提升失效分析及TEM样品制备的成功率与影像质量。 9GaL0OWo  
    双束型聚焦离子束显微镜的应用,主要以下列所述为主: n{3| E3  
    半导体组件故障分析(能力可达20nm高阶制程) ~n8F7  
    半导体生产线制程异常分析 v/x*]c!"`  
    磊晶与薄膜结构分析 #]igB9Cf)w  
    电位对比测试 n-W?Z'H{r  
    纳米级结构加工
     
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