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    [求助]MgF2预融速率过大会不会产生膜料点子的情况?产生膜料点子和脏点子情况有哪些呢? [复制链接]

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    离线misery_
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-16
    MgF2预融速率过大会不会产生膜料点子的情况?产生膜料点子和脏点子情况有哪些呢?玻璃膜料点子多,这种情况如何解决的?
     
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    离线1111111111
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    只看该作者 1楼 发表于: 09-17
    降低挡板的高度,MGF2不预融,用电子枪蒸镀,点子也还可以啊。
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 09-18
    点子原因非常多,可以说真空室内任何一个机构都有可能形成点子。
    离线士官长
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    只看该作者 3楼 发表于: 09-28
    预熔时候如果不开挡板应该不会导致点子,开挡板时的速率是最好和设定速率差不多。
    离线ouyuu
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    只看该作者 4楼 发表于: 09-30
    刚才回复他人帖子时候想到一个可能性。 N<~t3/Nm  
    予熔设定的电流过低或者过高,导致开挡板瞬间电子枪调整剧烈的话,也会有喷溅产生。
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